高温炉
发布时间：2013-04-12 点击次数：1472次
一、高温炉产品特性 -
自然空气隔热式，轻巧易搬运。
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升温速度快，0-30℃/min可以自由设定。
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炉内两面辐射方式加热，温度分布均匀。
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温度控制:PID自动控制LED数字显示。
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保温：进口耐高温陶瓷棉保温及陶瓷板、岩棉三重保温。
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加热器：瑞典进口KANTHAL加热器，耐用、升温稳定、加热速度快。
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内部采用耐高温陶瓷板，不易变形，外部采用镀锌加高温烤漆美观，不易掉漆。
二、高温炉操作规程 1 准备工作
a,检查电源线接触是否良好
b,检查连接线是否正常
c,检查冷却水是否正常
d,检查密封性是否正常
e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
2 开炉
a,打开主电源开关
b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板
c, 将输送车开关打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮，取出 。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关.
d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
3装料
a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。
b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门
4 抽气
a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封
b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。
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加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。
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冷却
a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；
三、高温炉注意事项 -
除了做实验外，不要停留在管区。
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实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动， 炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如:cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。
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处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。
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石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。
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避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
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氰化钾（KCN）不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。
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一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员（技术员等）。
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请节约纯水用量。
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破晶片、滤纸、棉花棒.......等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。
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长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。
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晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。
