真空高温气氛炉使用及清洗事项分析

真空高温气氛炉炉膛清洗方法：

一、真空泵预抽真空法： 

1.把任何一个出气嘴与真空用软管连接起来； 

2.对气氛炉的炉腔进行预抽真空；

3.通入保护气体；

4.再对炉腔进行预抽真空；

5.如此循环几次以达到炉膛内气氛要求。   

二、保护气体替换法：

1.保护气体一般应在气氛炉升温前通入炉内； 

2.保护气体可通过上、下、后三个洗炉口通入，应将排气口的针阀开至zui大，以利于炉内空气尽快排出； 

3.一般向炉内通入炉膛容积10倍左右的保护气体，可使炉内氧浓度降至10ppm左右； 

4.当炉内氧浓度符合产品工艺要求时，可将排气口的针阀关小，以节约保护气,关闭洗炉口,由进气口通过流量计进入； 

5.在气氛炉使用过程中，炉膛内必须维持正压，以防炉外空气进入炉膛。　　

真空高温气氛炉使用注意事项：

1、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动， 炉管保持在standby温度。

2、处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。

3、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。　

4、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。　

5、晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。

6、破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。　

7、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。