真空高温气氛炉炉膛清洗方法:
一、真空泵预抽真空法:
1.把任何一个出气嘴与真空用软管连接起来;
2.对气氛炉的炉腔进行预抽真空;
3.通入保护气体;
4.再对炉腔进行预抽真空;
5.如此循环几次以达到炉膛内气氛要求。
二、保护气体替换法:
1.保护气体一般应在气氛炉升温前通入炉内;
2.保护气体可通过上、下、后三个洗炉口通入,应将排气口的针阀开至zui大,以利于炉内空气尽快排出;
3.一般向炉内通入炉膛容积10倍左右的保护气体,可使炉内氧浓度降至10ppm左右;
4.当炉内氧浓度符合产品工艺要求时,可将排气口的针阀关小,以节约保护气,关闭洗炉口,由进气口通过流量计进入;
5.在气氛炉使用过程中,炉膛内必须维持正压,以防炉外空气进入炉膛。
真空高温气氛炉使用注意事项:
1、实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留N2流动, 炉管保持在standby温度。
2、处理HF时,请戴手套,如不小心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。
3、石英玻璃制品请小心使用,以免破裂,引起严重割伤。
4、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
5、晶片进出炉口时,承接boat的holder,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。
6、破晶片、滤纸、棉花棒等,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。
7、长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。
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