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真空高温气氛炉使用及清洗事项分析

发布时间:2014-04-11   点击次数:1286次

真空高温气氛炉炉膛清洗方法:

一、真空泵预抽真空法: 

1.把任何一个出气嘴与真空用软管连接起来; 

2.对气氛炉的炉腔进行预抽真空;

3.通入保护气体;

4.再对炉腔进行预抽真空;

5.如此循环几次以达到炉膛内气氛要求。   

二、保护气体替换法:

1.保护气体一般应在气氛炉升温前通入炉内; 

2.保护气体可通过上、下、后三个洗炉口通入,应将排气口的针阀开至zui大,以利于炉内空气尽快排出; 

3.一般向炉内通入炉膛容积10倍左右的保护气体,可使炉内氧浓度降至10ppm左右; 

4.当炉内氧浓度符合产品工艺要求时,可将排气口的针阀关小,以节约保护气,关闭洗炉口,由进气口通过流量计进入; 

5.在气氛炉使用过程中,炉膛内必须维持正压,以防炉外空气进入炉膛。  

 

真空高温气氛炉使用注意事项:

1、实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留N2流动, 炉管保持在standby温度。

2、处理HF时,请戴手套,如不小心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。

3、石英玻璃制品请小心使用,以免破裂,引起严重割伤。 

4、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。 

5、晶片进出炉口时,承接boat的holder,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。

6、破晶片、滤纸、棉花棒等,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。 

7、长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。 

 

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